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除核心的空气净化系统外，纯水系统、纯蒸汽系统、特殊气体系统等配套设施也是无尘车间净化工程的重要组成部分，直接影响生产工艺的顺利开展。不同行业对配套系统的要求差异显著，电子半导体、医药等行业对水质、气体纯度有着极高要求。
纯水系统设计需根据工艺需求确定水质标准，电子半导体行业通常需要18兆欧的超纯水，需采用多级过滤、反渗透、EDI等深度处理工艺。纯蒸汽系统用于设备消毒与工艺加热，需控制蒸汽纯度，避免污染物带入生产环节。特殊气体系统主要应用于电子半导体生产，需选用专用管道与阀门，确保气体纯度与输送安全。
配套系统设计需注重与空气净化系统的协同，通过EMS系统实现各系统参数联动控制。盛世华为在安洁电子传感器无尘室项目中，通过整合空气净化、纯水、特殊气体等多个系统，实现了各参数精准匹配，为传感器生产提供了全方位的环境保障，彰显了配套系统的重要性。
